王力元 副教授 1964年出生,1980年入北京师范大学化学系,1987年毕业获物理化学硕士学位,留校在应用化学研究所从事研发工作。1987-1988年间在香港科技大学短期研究工作,1999年开始承担化学系化学专业英语等的教学工作。目前的主要研究领域为:高分子感光成像材料及其在印刷、集成电路加工及光学器件等领域的应用。
近期主持科研课题: 1.193nm光刻胶适用用光产酸剂研制 (国家863重大专项子课题2002AA3Z1330-2, 2002-2005) 2.新型光刻胶研制(横向课题)
近期发表论文与专利: 1.1-取代-顺式-1,2-环己二醇单磺酸酯类酸增殖剂的合成和性质研究,感光科学与光化学,2005,23(5)389-393 2.一种适用于193nm光刻胶的硫鎓盐光产酸剂的制备与性质,感光科学与光化学,2005,23(1)48-54 3.A Convenient Method to Measure the Quantity of the Acid Generated by PAGs and Acid Amplifiers,Proc. of SPIE-Advances in Resist Technology and Processing XXII,2005,5753,1049-1056 4.The synthesis and properties of N-hydroxy maleopimarimide sulfonates derivatives as PAGs and inhibitor for deep UV photoresist,Proc. of SPIE-Advances in Resist Technology and Processing XXI,2004,5376,608- 615 5.酸增值剂研究进展 感光科学与光化学 2003,21(4),296-302 6.N-羟基马来海松酸磺酸酯类光产酸剂及其合成方法(发明专利,申请号: 200410039318.7) |